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三维界面应力传感器

  • 所属单位: 西安电子科技大学
    发明人: 西安电子科技大学
  • 所属领域: 装备制造
  • 技术标签: 专利
  •  关键词: 三维界面应力传感器集成灵敏度
  • 合作方式: 面议

成果介绍

本发明公开了一种三维界面应力传感器,主要解决现有技术不能实时测量三维界面应力的问题。其包括顶层(1)、驱动电极(2)、中间层(3)、感应电极(4)和底层(5)。

驱动电极(2)耦合于顶层(1)的下表面;中间层(3)由四个分隔柱(31,32,33,34)组成,这四个分隔柱固定在顶层(1)与底层(5)之间;感应电极(4)由Z向感应电极(41)、X向感应电极(42)和Y向感应电极(43)组成,Z向感应电极(41)耦合于底层(5)上表面的中心位置,X向感应电极(42)和Y向感应电极(43)分别耦合于底层(5)上表面的两条相邻的边上,且相互垂直。

本发明具有实时测量三维界面应力,几何尺寸小,测量范围大,灵敏度高,易于集成的优点,可用于康复医学、矫形外科、体育训练和制鞋业中